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Features
- 刚玉材质炉管
- 控温精度可达±1℃
- 触屏操作简单快捷
炉管采用刚玉材质，工作温度可达1500度，具有高温稳定性和耐腐蚀性，加热均匀性好
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
采用触屏操作系统，数据可存储可通过EXCEL输出
Specifications
技术参数
| 产品名称 | 3通道CVD设备 | |
| 型号 | KJ-T1600 -3M | |
| 管式炉部分 | 显示 | 液晶触摸屏 |
| 最高温度 | 1600℃ | |
| 工作温度 | ≤1500℃ | |
| 升温速率 | 建议0~10℃/min | |
| 温区 | 300mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 加热元件 | 硅钼棒 | |
| 热电偶 | B型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 外径80mm*长度1000mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 材质：刚玉 | ||
| 塞砖 | 包括两个纤维陶瓷块，用于阻挡来自管内的热辐射（陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔） | |
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 | |
| 质量流量计 （液晶触摸屏） |
三台精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围0~100 sccm MFC 2：气体流量范围0~200 sccm MFC 3：气体流量范围0~200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合 |
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| 更多参数可按需定制 | ||
Temperature Range
Door Opening Style
Process Applications
Heating Elements & Temp Zones
Chamber Size
