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Introduction
该设备适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
Features
- 高纯氧化铝纤维炉膛
- 双层外壳结构 配备冷风系统
- 可无人值守情况下操作
发热元件采用优良MoSi2，炉膛采用陶瓷纤维材料，保温性能好，经久耐用，抗拉强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显
双层钢制外壳，带双冷却风扇，炉体表面温度安全不烫手，一体式不可打开炉门，保温效果好
内置PID自动调节功能，具有过热和断开热电偶断开保护； 超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作
Specifications
技术参数
| 加热系统（管式炉） | |
| 最高温度 | 1700 ℃ |
| 工作温度 | 1600℃ |
| 显示 | LED显示屏 |
| 管径 | 80mm（外径）（其他尺寸可按客户需求定制） |
| 管材 | 刚玉管 |
| 热区长度 | 220+220+220mm （其他尺寸可按客户需求定制） |
| 加热元件 | 硅钼棒 |
| 加热速率 | 建议0-10℃/min |
| 温度控制 |
● PID自动通过SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角触发，限流电阻器。 ● 30个可编程段，用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警，允许在无人值守的情况下操作。 |
| 热电偶 |
3个热电偶（测量和温度控制功能），位于每个热区的中间（管道外侧）
1个热电偶（仅测量温度），位于管内。 |
| 温控精度 | ±1℃ |
| 炉膛结构 |
双层钢制外壳，带双冷却风扇，用于冷却炉体表面温度
一体式不可打开炉门。 |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 |
| 供气系统 | |
| 4通道质子流量计： | 一个气体混合罐安装在底部壳体上，带有液体释放阀 底壳左侧安装4个不锈钢针阀，控制4种气体混合 |
| 真空泵+真空计系统 | |
| 真空泵+真空计 | 配备旋转叶片泵，使真空度达到10Pa（冷却状态） |
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
Temperature Range
Door Opening Style
Process Applications
Heating Elements & Temp Zones
Chamber Size
