KJ150-XK实验型氧化扩散炉

Model：KJ150-XK

Introduction：郑州科佳KJ150-XK是一款管式扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

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Introduction

郑州科佳KJ150-XK是一款管式扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化

控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步

具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态

实验型氧化扩散炉
产品型号	KJ150-XK
工作温度	≦1300℃
应用晶片尺寸	2~8英寸圆片（更多规格可按需求定制）
可配工艺管数量	1~2管/台
温度变化速率	最大升温速率10℃/min，最大降温速率5℃/min
安全预警	具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能

Temperature Range
1100°C/1400°C/1700°C
Door Opening Style
Side/ Top/ Bottom/ Bottom-lift/ Bogie
Process Applications
Sintering / Brazing / Heat Treatment
Heating Elements & Temp Zones
Resistance wire/ SiC/ MoSi₂
Single/ Multi-zones
Chamber Size
Standard / Custom