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Introduction
1、与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏； 2、可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果； 3、炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃； 4、带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
Features
- 沉积温度低
- 可快速升降温
- 双温区设计
- 带有预热炉
与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏
炉底装有滑轨，可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果
炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃
带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合
Specifications
技术参数
| 产品名称 | 高温PECVD设备 |
| 产品型号 | KJ-T1600-PECVD |
| 炉膛 | 分体式，上部可打开 |
| 最高温度 | 1600度 |
| 工作温度 | ≤1500℃ |
| 加热速率 | 0~10℃/min |
| 温区 | 200mm+200+200mm |
| 加热元件 | 硅钼棒 |
| 热电偶 | B型热电偶 |
| 温度控制精度 | ±1℃ |
| 炉管尺寸 | 80mm OD x 3200 mm L |
| 管子材质 | 石英管 |
| 温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 |
| 加热曲线 | 30步可编程 |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 |
| 输出功率 | 5-300W可调，稳定性±1% |
| 射频频率 | 13.56 MHz±0.005%稳定性 |
| 真空泵 | 旋片式真空泵+分子泵系统 |
Temperature Range
Door Opening Style
Process Applications
Heating Elements & Temp Zones
Chamber Size
